Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://hdl.handle.net/123456789/10934
Назва: Вплив ростових домішок на термічне дефектоутворення у монокристалічному кремнію
Інші назви: Influence of growth impurities on thermal defect formation in monocrystalline silicon
Автори: Павловський, Юрій Вікторович
Бербець, О. В.
Литовченко, Петро Григорович
Ключові слова: кисень
вуглець
мікротвердість
термічна обробка
магнітна сприйнятливість
монокристалічний кремній
Дата публікації: 2021
Видавництво: ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"
Бібліографічний опис: Павловський Ю. В. Вплив ростових домішок на термічне дефектоутворення у монокристалічному кремнію / Ю. В. Павловський, О. В. Бербец, П. Г. Литовченко // Фізика і хімія твердого тіла. - 2021. - Т. 22. - № 3. - С. 437-443
Короткий огляд (реферат): Досліджено вплив ростових домішок (кисню та вуглецю) на магнітні, мікромеханічні та структурні властивості монокристалів кремнію, вирощених за методом Чохральського, після їх термічної обробки в інтервалі температур 700-1100°С. Вивчено розподіл дефектів, які утворюються при різних температурах відпалу. Виявлено кореляцію між змінами магнітної сприйнятливості, мікротвердості та перебудовою структурних дефектів у кристалах після їх термообробки. Оцінено концентрації та розміри магнітно впорядкованих кластерів. Запропоновано інтерпретацію одержаних експериментальних результатів.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): http://hdl.handle.net/123456789/10934
Розташовується у зібраннях:Т. 22, № 3

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
4991-Текст статті-12295-1-10-20210801.pdf631.55 kBAdobe PDFПереглянути/Відкрити


Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.