Вплив ростових домішок на термічне дефектоутворення у монокристалічному кремнію

Abstract

Досліджено вплив ростових домішок (кисню та вуглецю) на магнітні, мікромеханічні та структурні властивості монокристалів кремнію, вирощених за методом Чохральського, після їх термічної обробки в інтервалі температур 700-1100°С. Вивчено розподіл дефектів, які утворюються при різних температурах відпалу. Виявлено кореляцію між змінами магнітної сприйнятливості, мікротвердості та перебудовою структурних дефектів у кристалах після їх термообробки. Оцінено концентрації та розміри магнітно впорядкованих кластерів. Запропоновано інтерпретацію одержаних експериментальних результатів.