Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/11173
Title: Морфологічні особливості нанокремнію, отриманого методом хімічного неелектролітичного травлення
Other Titles: Morphological Features of Nanosilicon Fabricated by Metal – Assisted Chemical Etching
Authors: Яцунський, Ігор Ростиславович
Сминтина, Валентин Андрійович
Павленко, Микола Миколайович
Свірідова, Ольга Валентинівна
Рімашевський, Олександр Аркадійович
Keywords: неелектролітичне травлення
нанокремній
Issue Date: 2013
Publisher: ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"
Citation: Яцунський І. Р. Морфологічні особливості нанокремнію, отриманого методом хімічного неелектролітичного травлення / І. Р. Яцунський, В. А. Сминтина, М. М. Павленко, О. В. Свірідова, О. А. Рімашевський // Фізика і хімія твердого тіла. - 2013. - Т. 14. - № 4. - С. 794-799.
Abstract: У роботі досліджено механізми формування нанокремнію новим методом неелектролітичного травлення поверхні в розчинах HF:H2O2:H2O, при різних концентраціях компонент. Показано залежність властивостей і топології поверхні отриманих наноструктур від кількісного співвідношення травника та окислювача в розчині.
URI: http://hdl.handle.net/123456789/11173
Appears in Collections:Т. 14, № 4

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
!1404-18.pdf421.84 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.