Формування полірованої поверхні кристалів нелегованого та легованого ZnSe травниками H2O2–HBr–етиленгліколь

Abstract

Розроблено бромвиділяючі травники H2O2–HBr–етиленгліколь для формування полірованої поверхні кристалів нелегованого та легованого ZnSe. Вивчено залежності швидкості розчинення кристалів від складу травників, їх перемішування та температури. Побудовано діаграми “склад травника – швидкість травлення” і встановлені концентраційні межі поліруючих розчинів. Оптимізовано склади поліруючих сумішей для травлення ZnSe методами хіміко-динамічного та хіміко-механічного полірування. Досліджено стан поверхні кристалів цинк селеніду методами елекронної, атомно-силової мікроскопії та низькотемпературної фотолюмінесценції після механічної та хімічної обробки.