Дослідження умов газорозрядного синтезу наноструктур оксиду цинку при автоматичному УФ - опроміненні підкладки плазмою

Abstract

Приведено спектроскопічні характеристики біполярного, перенапруженого розряду наносекундної тривалості між електродами з цинку в кисні при тиску р(О2) = 13.3 кПа. В процесі мікровибухів неоднорідностей на робочих поверхнях електродів в сильному електричному полі в розрядний проміжок вносяться пари цинку. Це створює передумови для утворення молекул і кластерів оксиду цинку в плазмі та синтезу тонких острівкових плівок оксиду цинку, які можуть осаджувались на діелектричній підкладці, встановленій поблизу від центру розрядного проміжку. Спектральні характеристики розряду досліджувались з центральної частини розрядного проміжку величиною 2 мм. Встановлено основні збуджені складові плазми парогазової суміші на основі цинку і кисню при високих значеннях параметра Е/N (де E – напруженість електричного поля; N-сумарна концентрація часток в плазмі), які при осадженні за межами розрядної плазми можуть приводити до утворення тонких наноструктурованих плівок на основі оксиду цинку.