Дослідження умов синтезу тонких плівок нітриду срібла (AgNO3) у високочастотному розряді низького тиску

Abstract

Наведено результати дослідження характеристик високочастотного розряду низького тиску в повітрі (р = 10 Па) для синтезу тонких плівок з нітриду срібла, за рахунок ектонного механізму розпорошення полікристалічного електрода з сполуки Ag2S. Для синтезу тонких плівок на основі сполуки AgNO3 використано явище вибухової емісії природних неоднорідностей на поверхні полікристалічного електрода, при якому в результаті руйнування електродів з суперіонного провідника Ag2S формувався потік парів срібла, який, після взаємодії з плазмою повітря низької густини, конденсувався у формі тонкої плівки з нітриду срібла на встановленій поблизу діелектричній підкладці. Одержані плівки можуть бути використані в медицині, біотехнологіях, біомедичній інженерії, а також у сільському господарстві.