Хімічна взаємодія Cd1-xMnxTe з травильними композиціями Н2О2–НІ–лактатна кислота

Abstract

У відтворюваних гідродинамічних умовах досліджено кінетику розчинення CdTe та Cd1-xMnxTe в травниках системи НІ – Н2О2 – лактатна кислота. Побудовано поверхні однакових швидкостей розчинення (діаграми Гіббса), встановлено області поліруючих, селективних та не поліруючих розчинів, визначено лімітуючі стадії процесу полірування вказаних напівпровідників. Встановлено швидкості хіміко-механічного полірування розчинами Н2О2 – НІ – лактатна кислота, визначено вплив розведення базових поліруючих травників в’язкими розчинниками на поліруючі властивості та якість поверхні кристалів Cd1-xMnxTe.