Дисперсія показника заломлення тонких плівок Y2O3, отриманих різними способами

Abstract

Досліджено дисперсію показника заломлення тонких плівок Y2O3, отриманих методом дискретного випаровування і методом високочастотного іонно-плазмового розпилення в різних атмосферах. Встановлено, що незалежно від способу отримання спектральна залежність показника заломлення у видимій області спектру визначається в основному переходами зі зони 2p-станів кисню, що формують верхній заповнений рівень валентної зони, y дно зони провідності, утворене 4d5s-станами ітрію. Для досліджуваних плівок знайдені параметри одноосциляторної апроксимації, дисперсійна енергія, ступінь йонності хімічного зв’язку та координаційне число.