DSpace JSPUI
DSpace зберігає і дозволяє легкий і відкритий доступ до всіх видів цифрового контенту, включаючи текст, зображення, анімовані зображення, MPEG і набори даних
Дізнатися більше
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://hdl.handle.net/123456789/1553| Назва: | Особливості формування багаторівневої металізації в субмікронних структурах великих інтегральних схем |
| Інші назви: | Features Multilevel Metallization Forming a Submicron Structures of Large Integrated Circuits |
| Автори: | Новосядлий, Степан Петрович Бойко, Сергій І. Котик, Михайло Васильович |
| Ключові слова: | Металізація магнетронне розпилення тонкоплівкова технологія |
| Дата публікації: | 2-гру-2016 |
| Видавництво: | ФІЗИКА І ХІМІЯ ТВЕРДОГО ТІЛА |
| Бібліографічний опис: | Новосядлий С.П., Бойко С.І., Котик М.В. Особливості формування багаторівневої металізації в субмікронних структурах великих інтегральних схем // Фізика і хімія твердого тіла - 2016. – Т.17, №4. – С. 618-624. |
| Короткий огляд (реферат): | В даній статті проведено огляд сучасних алюмінієвих сплавів що використовуються при формуванні багаторівневої металізації в субмікронних структурах ВІС/НВІС та магнітних сплавів що використовуються для виготовлення магнітних дисків зовнішніх запам’ятовуючих пристроїв з досить великим об’ємом пам’яті для сучасних ЕОМ. Крім того наведено характеристики магнетронів що можуть бути використані для напилення металізації: магнетронного розпилювального пристрою з магнітним блоком, що обертається охолоджувальною деіонізованою водою, який дозволяє значно підвищити ефективність розпилення мішені; магнетронного високочастотного пристрою УМВ-2,5 з магнітною системою, що сформована на електромагнітах із скануванням магнітного поля; установки двостороннього магнетронного розпилення металевих мішеней типу УВН МДЕ.П-1250-012; Двоярусного пристрою магнетронного формування багаторівневої контактної металізації на основі установки вакуумного напилення УРМ.3.279.05. |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://hdl.handle.net/123456789/1553 |
| ISSN: | 1729-4428 |
| Розташовується у зібраннях: | Статті та тези (ФТФ) |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 30_Novosyadlyi.doc | 240.5 kB | Microsoft Word | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.