Особливості формування багаторівневої металізації в субмікронних структурах великих інтегральних схем

Новосядлий, Степан Петрович; Бойко, Сергій І.; Котик, Михайло Васильович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/1553

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Новосядлий, Степан Петрович	-
dc.contributor.author	Бойко, Сергій І.	-
dc.contributor.author	Котик, Михайло Васильович	-
dc.date.accessioned	2020-03-20T14:03:43Z	-
dc.date.available	2020-03-20T14:03:43Z	-
dc.date.issued	2016-12-02	-
dc.identifier.citation	Новосядлий С.П., Бойко С.І., Котик М.В. Особливості формування багаторівневої металізації в субмікронних структурах великих інтегральних схем // Фізика і хімія твердого тіла - 2016. – Т.17, №4. – С. 618-624.	uk_UA
dc.identifier.issn	1729-4428	-
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/1553	-
dc.description.abstract	В даній статті проведено огляд сучасних алюмінієвих сплавів що використовуються при формуванні багаторівневої металізації в субмікронних структурах ВІС/НВІС та магнітних сплавів що використовуються для виготовлення магнітних дисків зовнішніх запам’ятовуючих пристроїв з досить великим об’ємом пам’яті для сучасних ЕОМ. Крім того наведено характеристики магнетронів що можуть бути використані для напилення металізації: магнетронного розпилювального пристрою з магнітним блоком, що обертається охолоджувальною деіонізованою водою, який дозволяє значно підвищити ефективність розпилення мішені; магнетронного високочастотного пристрою УМВ-2,5 з магнітною системою, що сформована на електромагнітах із скануванням магнітного поля; установки двостороннього магнетронного розпилення металевих мішеней типу УВН МДЕ.П-1250-012; Двоярусного пристрою магнетронного формування багаторівневої контактної металізації на основі установки вакуумного напилення УРМ.3.279.05.	uk_UA
dc.language.iso	uk_UA	uk_UA
dc.publisher	ФІЗИКА І ХІМІЯ ТВЕРДОГО ТІЛА	uk_UA
dc.subject	Металізація	uk_UA
dc.subject	магнетронне розпилення	uk_UA
dc.subject	тонкоплівкова технологія	uk_UA
dc.title	Особливості формування багаторівневої металізації в субмікронних структурах великих інтегральних схем	uk_UA
dc.title.alternative	Features Multilevel Metallization Forming a Submicron Structures of Large Integrated Circuits	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
Appears in Collections:	Статті та тези (ФТФ)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
30_Novosyadlyi.doc		240.5 kB	Microsoft Word	View/Open

Show simple item record

DSpace JSPUI

DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets