1. Precarpathian National University Repository
  2. Періодичні видання ПНУ
  3. Наукові журнали
  4. Фізика і хімія твердого тіла
  5. 2023
  6. Т. 24, № 2
Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/16794
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПетров, Вячеслав Васильович-
dc.contributor.authorКрючин, Андрій Андрійович-
dc.contributor.authorГорбов, Іван Васильович-
dc.contributor.authorПанкратова, Антоніна Володимирівна-
dc.contributor.authorМанько, Дмитро Юрійович-
dc.contributor.authorБородін, Юрій Олександрович-
dc.contributor.authorШиховець, Олександр Віталійович-
dc.date.accessioned2023-07-03T08:29:17Z-
dc.date.available2023-07-03T08:29:17Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationПетров В. В. Формування субмікронних рельєфних структур на поверхні сапфірових підкладок / В. В. Петров, А. А. Крючин, І. В. Горбов, А. В. Панкратова, Д. Ю. Манько, Ю. О. Бородін, О. В. Шиховець // Фізика і хімія твердого тіла. - 2023. - Т. 24. - № 2. - С. 298-303.uk_UA
dc.identifier.other10.15330/pcss.24.2.298-303-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/123456789/16794-
dc.description.abstractПроведено аналіз технологій, які дозволяють створювати мікрорельєфні структури на поверхні сапфірових підкладок. Показано, що найбільш ефективним методом формування рельєфних структур із субмікронними розмірами є йонно-променеве травлення через сформовану методом фотолітографії захисну маску. Основні проблеми при створенні мікрорельєфу на поверхні сапфірових підкладок полягають у видаленні статичного електричного заряду в процесі йонно-променевого травлення підкладок, а також отриманні захисної маски з вікнами заданих розмірів, через яку здійснюється травлення сапфірової підкладки.uk_UA
dc.language.isouk_UAuk_UA
dc.publisherПрикарпатський національний університет імені Василя Стефаникаuk_UA
dc.subjectсапфирові підкладкиuk_UA
dc.subjectселективне травленняuk_UA
dc.subjectзахисна маскаuk_UA
dc.subjectмікрорельефні структуриuk_UA
dc.titleФормування субмікронних рельєфних структур на поверхні сапфірових підкладокuk_UA
dc.title.alternativeFormation of submicron relief structures on the surface of sapphire substratesuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
Appears in Collections:Т. 24, № 2

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
6706-Текст статті-20133-1-10-20230614.pdf944.28 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.