Система автоматичного контролю швидкості хімічного травлення тонких плівок

Abstract

Показано можливість створення систем автоматичного контролю процесів хімічного травлення на основі інтерферометричного оптичного методу. Розроблено структурну схему пристроїв автоматичного керування побудовою оптичного тракту із елементів сучасних інформаційних оптоволоконних систем. Створено експериментальну модель системи автоматичного керування із оптимальним спектральним «ув’язуванням» джерела випромінювання, оптичних волокон, Y-розгалужувача та фотоприймача. Результати експериментальних досліджень змін інтерференційної картини під час хімічного травлення тонких плівок показали, що створена модель забезпечує простоту оптичного юстування, високу завадостійкість та легкість автоматизації контролю всього процесу травлення. На основі отриманих при досліджені експериментальної моделі результатів розроблено базовий алгоритм функціонування систем автоматичного контролю процесів хімічного травлення із використанням інтерферометричного оптичного методу.