DSpace JSPUI
DSpace зберігає і дозволяє легкий і відкритий доступ до всіх видів цифрового контенту, включаючи текст, зображення, анімовані зображення, MPEG і набори даних
Дізнатися більше
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://hdl.handle.net/123456789/22640| Назва: | Система автоматичного контролю швидкості хімічного травлення тонких плівок |
| Інші назви: | Automatic speed control system for the chemical etching of thin films |
| Автори: | Далекорей, А. В. Іваницький, Валентин Петрович Крючин, Андрій Андрійович Легета, Ярослав Павлович Петров, Вячеслав Васильович Рубіш, В. М. Рябощук, Михайло Михайлович Чичура, Ігор Іванович |
| Ключові слова: | система автоматичного контролю інтерференційні методи контролю товщини алгоритм контролю процесу травлення автоматизація процесів хімічного травлення |
| Дата публікації: | 2025 |
| Видавництво: | Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника |
| Бібліографічний опис: | Далекорей А. В. Система автоматичного контролю швидкості хімічного травлення тонких плівок / А. В. Далекорей, В. П. Іваницький, А. А. Крючин, Я. П. Легета, В. В. Петров, В. М. Рубіш, М. М. Рябощук, І. І. Чичура // Фізика і хімія твердого тіла. - 2025. - Т. 26. - № 1. - С. 91-99. |
| Короткий огляд (реферат): | Показано можливість створення систем автоматичного контролю процесів хімічного травлення на основі інтерферометричного оптичного методу. Розроблено структурну схему пристроїв автоматичного керування побудовою оптичного тракту із елементів сучасних інформаційних оптоволоконних систем. Створено експериментальну модель системи автоматичного керування із оптимальним спектральним «ув’язуванням» джерела випромінювання, оптичних волокон, Y-розгалужувача та фотоприймача. Результати експериментальних досліджень змін інтерференційної картини під час хімічного травлення тонких плівок показали, що створена модель забезпечує простоту оптичного юстування, високу завадостійкість та легкість автоматизації контролю всього процесу травлення. На основі отриманих при досліджені експериментальної моделі результатів розроблено базовий алгоритм функціонування систем автоматичного контролю процесів хімічного травлення із використанням інтерферометричного оптичного методу. |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://hdl.handle.net/123456789/22640 |
| Розташовується у зібраннях: | Т. 26, № 1 |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 14_Dalekorej.pdf | 571.5 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.