DSpace JSPUI
DSpace зберігає і дозволяє легкий і відкритий доступ до всіх видів цифрового контенту, включаючи текст, зображення, анімовані зображення, MPEG і набори даних
Дізнатися більше
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://hdl.handle.net/123456789/4727| Назва: | ФІЗИКА І ТЕХНОЛОГІЯ ТОНКИХ ПЛІВОК Том I ТЕХНОЛОГІЯ ТОНКИХ ПЛІВОК |
| Інші назви: | Навчальний посібник |
| Автори: | Прокопів, Володимир Васильович |
| Дата публікації: | 2010 |
| Видавництво: | Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника |
| Бібліографічний опис: | Прокопів В. В. Фізика і технологія тонких плівок : навчальний посібник. У 2-х т. – Т. 1. Технологія тонких плівок. Івано-Франківськ : Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника, 2010. 92 с. |
| Короткий огляд (реферат): | В посібнику розглянуті властивості тонких плівок та методи їх одержання при виробництві напівпровідникових приладів та інтег-ральних мікросхем. Описані вакуумні системи та устаткування для нанесення тонких плівок. Показано як здійснювати контроль парамет-рів плівок і технологічних режимів їхнього нанесення. У першому томі розглянуто технологічні аспекти тонкоплівко-вого матеріалознавства. Посібник призначений для студентів та магістрантів відповідних спеціальностей вищих навчальних закладів. Корисний буде аспіран-там, науковим та інженерно-технічним працівникам що займаються проблемами тонкоплівкового матеріалознавства. |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://hdl.handle.net/123456789/4727 |
| Розташовується у зібраннях: | Навчальні матеріали (ФТФ) |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| ФТТП_I.pdf | 7.98 MB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.