ФІЗИКА  І  ТЕХНОЛОГІЯ ТОНКИХ  ПЛІВОК  Том I ТЕХНОЛОГІЯ  ТОНКИХ  ПЛІВОК

Прокопів, Володимир Васильович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/4727

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Прокопів, Володимир Васильович	-
dc.date.accessioned	2020-04-09T14:20:11Z	-
dc.date.available	2020-04-09T14:20:11Z	-
dc.date.issued	2010	-
dc.identifier.citation	Прокопів В. В. Фізика і технологія тонких плівок : навчальний посібник. У 2-х т. – Т. 1. Технологія тонких плівок. Івано-Франківськ : Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника, 2010. 92 с.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/4727	-
dc.description.abstract	В посібнику розглянуті властивості тонких плівок та методи їх одержання при виробництві напівпровідникових приладів та інтег-ральних мікросхем. Описані вакуумні системи та устаткування для нанесення тонких плівок. Показано як здійснювати контроль парамет-рів плівок і технологічних режимів їхнього нанесення. У першому томі розглянуто технологічні аспекти тонкоплівко-вого матеріалознавства. Посібник призначений для студентів та магістрантів відповідних спеціальностей вищих навчальних закладів. Корисний буде аспіран-там, науковим та інженерно-технічним працівникам що займаються проблемами тонкоплівкового матеріалознавства.	uk_UA
dc.language.iso	uk_UA	uk_UA
dc.publisher	Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника	uk_UA
dc.title	ФІЗИКА І ТЕХНОЛОГІЯ ТОНКИХ ПЛІВОК Том I ТЕХНОЛОГІЯ ТОНКИХ ПЛІВОК	uk_UA
dc.title.alternative	Навчальний посібник	uk_UA
dc.type	Book	uk_UA
Appears in Collections:	Навчальні матеріали (ФТФ)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
ФТТП_I.pdf		7.98 MB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record

DSpace JSPUI

DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets