Aging Processes in Implanted Fluorine Ions and Laser Irradiated Films of LaGa:YIG

Abstract

На основі результатів X-променевого структурного аналізу вивчено зміни кристалічної структури під час природного старіння та лазерного відпалу, які відбувалися в приповерхневих шарах епітаксійних плівок LaGa-заміщеного залізо-ітрієвого гранату, імплантованого іонами F+. Розглянуто процеси, що відбуваються під час імплантації іонами F+ ферит-гранатових плівок, та процеси, які супроводжують низькотемпературне старіння іонно імплантованих плівок. З експериментальних кривих дифракційного відбивання, отриманих відразу після іонної імплантації, після лазерного опромінення та через кілька років, визначено профілі деформації. Виявлено два етапи в змінах кристалічної структури приповерхневого порушеного шару з часом. На протязі першого з них максимальна деформація в іонно імплантованому шарі незначно зростала, а на другому зменшувалася. Встановлено, що результати лазерного відпалу та природного старіння приповерхневих шарів імплантованих іонами F+ та лазерно опромінених плівок LaGa:ЗІГ залежать від того, з якої сторони відбувалося опромінення лазером. Однак, результат їх сумарного впливу не залежить від сторони лазерного опромінення.