Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/6817
Title: Фізико-технологічні основи мікросистемної техніки.
Authors: Мандзюк, Володимир Ігорович
Когут, Ігор Тимофійович
Issue Date: 2008
Publisher: Нова зоря
Citation: В.І. Мандзюк, І.Т. Когут. Фізико-технологічні основи мікросистемної техніки. – Івано-Франківськ: Нова зоря, 2008. – 154 с.
Abstract: В посібнику викладені фізико-технологічні основи пристроїв мікросистемної техніки (МСТ). Подано технологію підготовки напівпровід-никових пластин з використанням методів механічної і хімічної обробки, процеси формування діелектричних плівок на напівпровідникових пласти-нах, основи літографічних процесів. Розглянуто основні технології виготов¬лення і принципи функціонування сенсорних і актюаторних елементів МСТ, які отримали найбільше поширення за останні десятиріччя.
URI: http://hdl.handle.net/123456789/6817
Appears in Collections:Навчальні матеріали (ФТФ)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Microsystem technics.pdf3.3 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.