Zn+/P+ та Zn+/As+ коімплантація в монокристалах InP

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/7242

Title:	Zn+/P+ та Zn+/As+ коімплантація в монокристалах InP
Other Titles:	Zn+/P+ and Zn+/As+ co-implantation in InP single crystals
Authors:	Терлецький, Андрій Іванович Урсакі, Вячеслав Тігіняну, Іван Михайлович Ікізлі, Вікторія Пишна, Наталія Борисівна Радауцан, Сергій Іванович
Keywords:	подвійна імплантація фосфід індію активація домішки інверсія типу провідності
Issue Date:	1996
Publisher:	Матеріали 19-ї щорічної конференції з напівпровідників, 12-17 жовтня 1996 р, Сіная, Румунія
Citation:	Ursaki V. V. Zn+/P+ and Zn+/As+ co-implantation in InP single crystals / V. V. Ursaki, I. M. Tiginyanu, V. M. Ichizli, A. I. Terletsky, N. B. Pyshnaya, S. I. Radautsan // Proceeding 19th Edition of Annual Semiconductor Conf. October 12-17, Sinaia, Romania. – 1996. – pp. 401-404.
URI:	http://hdl.handle.net/123456789/7242
Appears in Collections:	Статті та тези (ФТФ)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
CAS-96.pdf		394.34 kB	Adobe PDF	View/Open

DSpace JSPUI