Zn+/P+ та Zn+/As+ коімплантація в монокристалах InP

Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://hdl.handle.net/123456789/7242

Назва:	Zn+/P+ та Zn+/As+ коімплантація в монокристалах InP
Інші назви:	Zn+/P+ and Zn+/As+ co-implantation in InP single crystals
Автори:	Терлецький, Андрій Іванович Урсакі, Вячеслав Тігіняну, Іван Михайлович Ікізлі, Вікторія Пишна, Наталія Борисівна Радауцан, Сергій Іванович
Ключові слова:	подвійна імплантація фосфід індію активація домішки інверсія типу провідності
Дата публікації:	1996
Видавництво:	Матеріали 19-ї щорічної конференції з напівпровідників, 12-17 жовтня 1996 р, Сіная, Румунія
Бібліографічний опис:	Ursaki V. V. Zn+/P+ and Zn+/As+ co-implantation in InP single crystals / V. V. Ursaki, I. M. Tiginyanu, V. M. Ichizli, A. I. Terletsky, N. B. Pyshnaya, S. I. Radautsan // Proceeding 19th Edition of Annual Semiconductor Conf. October 12-17, Sinaia, Romania. – 1996. – pp. 401-404.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу):	http://hdl.handle.net/123456789/7242
Розташовується у зібраннях:	Статті та тези (ФТФ)

Файли цього матеріалу:

Файл	Опис	Розмір	Формат
CAS-96.pdf		394.34 kB	Adobe PDF	Переглянути/Відкрити

Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.

DSpace JSPUI