Парофазне  осадження  тонких плівок  телуриду  свинцю. І. Планування та оптимізація технології

Лоп'янко, Михайло Антонович; Никируй, Ростислав Іванович; Ткачук, Андрій Іванович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/7269

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Лоп'янко, Михайло Антонович	-
dc.contributor.author	Никируй, Ростислав Іванович	-
dc.contributor.author	Ткачук, Андрій Іванович	-
dc.date.accessioned	2020-05-17T13:26:42Z	-
dc.date.available	2020-05-17T13:26:42Z	-
dc.date.issued	2010-09-15	-
dc.identifier.citation	М.А. Лоп’янко. Парофазне осадження тонких плівок телуриду свинцю. І. Планування та оптимізація технології/ М.А. Лоп’янко, Р.І. Никируй, А.І. Ткачук// Фізика і хімія твердого тіла, Т. 11, № 4 (2010) С. 876-883	uk_UA
dc.identifier.issn	1729-4428	-
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/123456789/7269	-
dc.description.abstract	Методами математичного планування багатофакторних експериментів одержано рівняння регресії, які визначають залежність електричних параметрів епітаксійних плівок РbТe на сколах (111) ВаF2 від технологічних факторів вирощування з парової фази методом гарячої стінки. Визначено значення температур випаровування Тв підкладки Тп та стінок камери Тс, при яких формуються тонкі плівки із оптимальними електричними параметрами.	uk_UA
dc.language.iso	uk_UA	uk_UA
dc.publisher	Прикарпатський національний університет ім. В. Стефаника	uk_UA
dc.subject	гаряча стінка	uk_UA
dc.subject	плюмбум телурид	uk_UA
dc.title	Парофазне осадження тонких плівок телуриду свинцю. І. Планування та оптимізація технології	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
Appears in Collections:	Статті та тези (ФТФ)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
2010 т.11 №4.pdf		468.8 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record

DSpace JSPUI

DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets