DSpace JSPUI
DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets
Learn More
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/7546| Title: | Теоретичні та експериментальні дослідження лазерного відпалу нестехіометричних плівок SiOx |
| Other Titles: | Theoretical and Experimental Investigations of Laser Annealing Non-Stoichiometric SiOx Films |
| Authors: | Гаврилюк, Олександр Олександрович Семчук, Олександр Юрійович Литовченко, Б. В. |
| Keywords: | нестехіометричні плівки кремній діоксид |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника" |
| Citation: | Гаврилюк О. О. Теоретичні та експериментальні дослідження лазерного відпалу нестехіометричних плівок SiOx / O. O. Гаврилюк, О. Ю. Семчук, Б. В. Литовченко // Фізика і хімія твердого тіла. - 2015. - Т. 16. - № 4. - С. 675-678. |
| Abstract: | В даній роботі було досліджено розповсюдження температурних профілів та вплив температури на формування наночастинок кремнію в нестехіометричних плівках SiOx після лазерного відпалу. З залученням параболічного рівняння теплопровідності було проведено математичне моделювання формування температурних профілів в нестехіометричній плівці SiOx після лазерного відпалу. Показано, що температура 1800 К на поверхні SiOx достатня для розділення речовини плівки на діоксид кремнію і його наночастинки. ІЧ-дослідження підтвердили таке розмежування. |
| URI: | http://hdl.handle.net/123456789/7546 |
| Appears in Collections: | Т. 16, № 4 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 821-2489-1-SM.pdf | 166.72 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.