1. Precarpathian National University Repository
  2. Періодичні видання ПНУ
  3. Наукові журнали
  4. Фізика і хімія твердого тіла
  5. 2015
  6. Т. 16, № 4
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://hdl.handle.net/123456789/7546
Назва: Теоретичні та експериментальні дослідження лазерного відпалу нестехіометричних плівок SiOx
Інші назви: Theoretical and Experimental Investigations of Laser Annealing Non-Stoichiometric SiOx Films
Автори: Гаврилюк, Олександр Олександрович
Семчук, Олександр Юрійович
Литовченко, Б. В.
Ключові слова: нестехіометричні плівки
кремній
діоксид
Дата публікації: 2015
Видавництво: ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"
Бібліографічний опис: Гаврилюк О. О. Теоретичні та експериментальні дослідження лазерного відпалу нестехіометричних плівок SiOx / O. O. Гаврилюк, О. Ю. Семчук, Б. В. Литовченко // Фізика і хімія твердого тіла. - 2015. - Т. 16. - № 4. - С. 675-678.
Короткий огляд (реферат): В даній роботі було досліджено розповсюдження температурних профілів та вплив температури на формування наночастинок кремнію в нестехіометричних плівках SiOx після лазерного відпалу. З залученням параболічного рівняння теплопровідності було проведено математичне моделювання формування температурних профілів в нестехіометричній плівці SiOx після лазерного відпалу. Показано, що температура 1800 К на поверхні SiOx достатня для розділення речовини плівки на діоксид кремнію і його наночастинки. ІЧ-дослідження підтвердили таке розмежування.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): http://hdl.handle.net/123456789/7546
Розташовується у зібраннях:Т. 16, № 4

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
821-2489-1-SM.pdf166.72 kBAdobe PDFПереглянути/Відкрити
Показати повний опис матеріалу Перегляд статистики


Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.